Чистая комната - это комната, в которой контролируется концентрация подвесных частиц в воздухе. Он должен быть построен и использовать для минимизации введения, генерации и удержания частиц в комнате. Другие соответствующие параметры, такие как температура, влажность, давление и т. Д., Не должны контролироваться. Чистота воздуха относится к степени количества частиц пыли в воздухе в чистой среде, высокая концентрация пыли - низкая чистота, низкая концентрация пыли - высокая чистота.
Читать Далее