Чистая комната класса ISO 5, также известная как чистая комната класса 100, представляет собой конструкцию, изготовленную из мягких или жестких стенок, в которой используются системы фильтрации HEPA для поддержания уровня чистоты воздуха не более 100 частиц (≥0,5 мкм) на кубический метр воздуха. внутри воздух.Системы очистки чистых помещений класса 5 ISO должны обеспечивать степень покрытия фильтров 60–70 % и минимум 300 замен воздуха в час.Стандартный расход воздуха для чистого помещения класса 100 составляет 36–65 кубических футов в минуту на квадратный фут.

Чистая комната ISO 6 (чистая комната класса 1000) представляет собой конструкцию, изготовленную из мягких или жестких стенок, в которой используются системы фильтрации HEPA для поддержания уровня чистоты воздуха не более 1000 частиц (≥0,5 мкм) на кубический метр внутреннего воздуха.Система фильтрации чистых помещений класса 1000 должна обеспечивать степень заполнения фильтра 20–30 % и – минимум 180 воздухообменов в час.Стандартный расход воздуха для системы фильтрации ISO 6 составляет 18–32 кубических футов в минуту на квадратный фут.

Чистая комната ISO 7 (чистая комната класса 10 000) представляет собой помещение с твердыми стенами, в котором используются системы фильтрации HEPA для поддержания уровня чистоты воздуха не более 10 000 частиц (≥0,5 мкм) на кубический фут.Системы фильтрации чистых помещений класса 10 000 должны обеспечивать степень покрытия фильтра 15–25 % и минимум 60 замен воздуха в час.Стандартный расход воздуха для системы фильтрации ISO 7 составляет 9–16 кубических футов в минуту на квадратный фут.

Чистые помещения ISO 8, также известные как чистые помещения класса 100 000, могут быть модульными или с мягкими стенками и иметь максимальное количество частиц 100 000 частиц (≥0,5 мкм) на кубический фут внутреннего воздуха.Они должны иметь покрытие HEPA-фильтрации на 4-5% площади и обеспечивать минимум 20 воздухообменов в час со скоростью потока воздуха 4-8 кубических футов в минуту на квадратный фут.