ISO 14644 и стандарты чистой комнаты, классификация, методы испытаний и требования к соответствию требованиям

Полупроводниковая промышленность вместе с биомедицинской и пищевой переработкой требует чистых комнат , чтобы гарантировать качество продукции. Управление чистыми комнатами следует за международными требованиями, описанными в стандарте ISO 14644, в которых подробно описываются классы чистоты воздуха, процедуры тестирования и протоколы соответствия.

1. Что такое ISO 14644?

ISO 14644 - это спецификация чистой комнаты, разработанная Международной организацией по стандартизации, которая сосредоточена на классификации чистых комнат на основе концентрации воздушных твердых частиц, и указывает, как чистые среды следует испытать и поддерживать.

2. Занятия чистой чистоты чистоты в чистоте

ISO 14644-1 устанавливает систему классификации чистых комнат ISO 1 через ISO 9, которая определяет более высокую чистоту посредством более низких численных значений. Стандартные классы ISO 1-3 подают полупроводниковые производства, в то время как фармацевтические препараты и лаборатории нуждаются в классах ISO 4-5, а во всех помещении с продовольственными или медицинскими целями используются классы ISO 6-8. Ограничения для частиц в чистом воздухе следуют определенным критериям в соответствии с стандартами ISO, где ISO класс 5 допускает не более 3520 частиц для ≥0,5 мкм, но ISO класс 8 поддерживает до 35 200 000 частиц.

3. Тестирование и проверка чистой комнаты

Стандарты, предоставленные ISO 14644-2, определяют, что необходимо для периодического мониторинга чистых комнат в соответствии с следующими требованиями:

• Тестирование с твердыми частицами в воздухе: тестирование частиц воздуха с использованием воздушных измерительных устройств подпадает под эту категорию.

• Тест на схему воздушного потока: тест на дым, чтобы проверить, поддерживает ли воздушный поток даже распределение по всей области осмотра.

• Количество изменений воздуха и измерения скорости воздуха: количество изменений воздуха и измерения скорости воздуха: обеспечить адекватную подачу чистого воздуха.

• Дифференциальное управление давлением: необходимым требованием является поддержание положительного давления в областях высокой чистоты, поскольку он останавливает загрязняющие вещества вторжения в эти места.

4. Как обеспечить соответствие чистой комнате ISO 14644?

• Фаза проектирования: Выбор соответствующей оценки фильтрации с фильтрами HEPA/ULPA и надлежащей конструкцией воздушного потока происходит на этапе проектирования.

• Фаза строительства: строительные мероприятия должны использовать уменьшающие пыль материалы вместе с надлежащими методами герметизации, чтобы минимизировать точки выброса загрязнения.

• Фаза эксплуатации: Стадия работы требует непрерывного мониторинга качества воздуха и технического обслуживания оборудования с входными элементами для людей и материалов для процесса.