Почему чистая комната так важна в производстве полупроводников

Современное развитие технологий сделало полупроводниковое производство необходимым для развития развития электроники. Самые дешевые и наименьшие частицы, встречающиеся на стадии производства, имеют возможность повредить как функциональность чипов, так и их результаты производства. Чистые комнаты теперь зарекомендовали себя как критические компоненты для каждого полупроводникового производственного объекта. Чистая комната имеет такое значение по какой причине? Через какие механизмы чистая комната поддерживает нетронутые стандарты качества и точность для изготовления чипа?

Как оборудование и материалы влияют на чистоту чистой комнаты?

Чистая комната требует полных протоколов скрининга и управления для всех материалов и оборудования, чтобы остановить загрязнение. Производственное оборудование производит крошечные частицы, которые приведут к дефектам чипа, если правильные элементы управления не будут реализованы. Эффективная работа систем фильтрации становится важной, поскольку химические материалы, а также фоторезисты и растворители, используемые в производстве, генерируют значительные газообразные загрязнители во время операций.

Выбор одежды персонала играет решающую роль в управлении чистыми комнатами . Специальный защитный износ, включая одежду и перчатки с масками, становится необходимым для доступа к чистую комнату, потому что обычная одежда создает существенное волокно вместе с частицами пыли.

Чтобы поддерживать высокую степень чистоты в чистой комнате, метод воздушного потока имеет решающее значение. В настоящее время в чистых залах используются три основных метода воздушного потока:

Однонаправленный ламинарный поток

В конструкции чистой комнаты для однонаправленного потока используются фильтры HEPA или ULPA для транспортировки воздуха в вертикальных или горизонтальных направлениях до его выпуска на уровне пола или вдоль боковых стен. Метод обеспечивает эффективное удаление загрязняющих веществ, таким образом, делает его целесообразным для производственных пространств, которые требуют чрезвычайно чистых рабочих сред, таких как производственные средства.

Неунициальный поток

Проект воздушного потока чистых комнат при нежидировальном распределении обеспечивает случайное движение, когда поставка воздуха попадает через точки вентиляции, а затем распределяется по всей территории. Техника преуспевает в операциях, требующих ограниченной чистоты, такой как тестирование и упаковка, но требуют чистых областей низкого класса.

Смешанный поток

Система смешанного потока включает в себя однонаправленные схемы потока в жизненно важных областях при реализации нежидирующих паттернов, где требуются более низкие стандарты чистоты. Дизайн системы сочетает в себе как высокую защиту от чистоты продукта в приоритетных зонах с экономически эффективными условиями эксплуатации.