Как чистая комната достигает чистоты?

Из -за сложности внешней среды нелегко реализовать фактическую чистоту FAB. Основными источниками загрязнения являются частицы, металлические элементы и органическое вещество от персонала. Частицы и металлические элементы из работы оборудования. Частицы, металлические элементы и органические вещества из сырых и вспомогательных материалов. Частицы окисленного органического вещества из методов работы. И частицы из среды мастерской. Из них у твердых частиц приходится около 37-70%, частицы жидкости примерно на 10-30%и микроорганизмы примерно на 5-20%.

Для достижения различных уровней чистоты FAB обычно требует подготовки сложной системы, что несколько похожи на системы свежего воздуха, используемые в настоящее время в домах, путем добавления фильтров различных размеров с различными размерами пор между потреблением и выхлопом. Обычно давление воздуха в FAB выше, чем внешнее атмосферное давление, чтобы избежать спонтанного притока загрязняющих веществ для загрязнения.

В дополнение к высокотумной фильтрации внешних загрязняющих веществ, внутри чистой комнаты требуются сложные системы для дальнейшего улучшения чистоты чистой комнаты. Как правило, большое количество систем кондиционирования воздуха необходимо для фильтрации воздуха с помощью высокоэффективных твердых частиц воздушных фильтров (HEPA) и для соответствующего контроля температуры и влажности (температура чистой комнаты составляет 20-26 ℃, а влажность составляет менее 70%). Требования к чистоте разных процессовых заводов реализуются различными системами.

Для областей с высокими требованиями к чистоте часто используются системы ULPA (ультра низкая проницаемость в воздушном фильтре), то есть, горизонтальный или вертикальный однонаправленный ламинарный поток, а также контроль над числом персонала, форма воздушного потока, которая помогает поддерживать равномерное распределение частиц воздуха и минимизировать распространение частиц в пространстве. Управляя направлением и скоростью воздушного потока, может быть достигнут более стабильный и равномерный поток ламинарного воздуха. Для других требований к магазину фильтры HEPA (высокоэффективные частицы с частицами) часто используются для достижения этого, то есть простой турбулентностью.

Чтобы предотвратить вторжение в наружное загрязнение в чистую комнату, необходимо гарантировать, что статическое давление в помещении выше, чем статическое давление внешнего мира, разность давления должна сохраняться в соответствии со следующими принципами:

1. Чистая комната выше, чем не чистость.

2. Высокая чистота статического давления в комнате выше, чем прилегающая чистота комнаты.

3. Дверь чистой комнаты чистой комнаты должна быть открыта до высокого уровня чистоты региона.